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新闻资讯
气浮式空气弹簧光学隔振平台PLM系列
气浮式空气弹簧光学隔振平台PLM系列
产品特点
PLM系列 高阻尼空气弹簧
大理石台面
可调平移动脚轮
精密高度阀与控制器
大理石台面/铝合金台面
精密测试仪器应用场所
垂直方向固有频率：3.0 HZ
水平方向固有频率：1.5 HZ
低重心隔振台架/光学平台
低重心隔振台架/光学平台
• 台面尺寸：定制的台面尺寸
• 系统高度：按要求定制
• 低固有频率膜式空气弹簧 垂直方向固有频率：2.0 HZ 水平方向固有频率：1.5 HZ
• 高精密高度阀与控制器
• 用途：大型电子显微镜
精密测量隔振平台/光学平台
精密测量隔振平台/光学平台
台面尺寸(mm)：定制的台面尺寸（1200*2400; 1500*3000)
系统高度(mm)：按要求定制
固有频率(Hz)：2.5/2.0/1.5/1.0/0.5(Hz)
定制xy移动隔振平台
定制xy移动隔振平台
台面尺寸：定制的大理石台面，形状及尺寸
• 低固有频率膜式空气弹簧 垂直方向固有频率：2.0 HZ 水平方向固有频率：1.5 HZ
• 高精密高度阀与水平控制器
• 用途：光学、半导体加工及测量平台
定制精密加工&检测隔振平台
定制精密加工&检测隔振平台
台面尺寸：定制的大理石台面形状及尺寸
• 系统高度：按要求定制
• 低固有频率膜式空气弹簧 垂直方向固有频率：2.0 HZ 水平方向固有频率：1.5 HZ
• 高精密高度阀与水平控制器
• 用途：光学、半导体加工及测量平台
气浮式光学隔振平台PLA系列
气浮式光学隔振平台PLA系列
特点：
PAL 系列膜式空气弹簧
流线型台面
可调平移动脚轮
高精密高度阀与控制器（自水平系统）
蜂窝板台面/大理石台面
